如何將半導(dǎo)體行業(yè)的物流環(huán)節(jié)成功升級,轉(zhuǎn)向智能化流程節(jié)能提效,成為眾多半導(dǎo)體企業(yè)的重要課題。仙工智能作為國內(nèi)頭部的以智能控制及數(shù)字化為核心的工業(yè)物流解決方案提供商,積累眾多行業(yè)客戶經(jīng)驗(yàn),目前已將半導(dǎo)體行業(yè)作為重點(diǎn)行業(yè)推進(jìn),致力于為客戶提供一站式半導(dǎo)體行業(yè)智能物流解決方案。
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半導(dǎo)體行業(yè)客戶的痛點(diǎn)難點(diǎn)是什么?仙工智能在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)的產(chǎn)品應(yīng)用范圍是什么?成功的項(xiàng)目案例有哪些?仙工智能的 3D 視覺系統(tǒng)解決方案究竟有何不同?如何落地?
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上圖為半導(dǎo)體整個工藝流程,圖表中清晰標(biāo)注了仙工智能在整個半導(dǎo)體生產(chǎn)制程中能做的工作,包括清洗、光刻、離子注入、封測整個環(huán)節(jié)、除高溫固化和光檢以外的封測后段環(huán)節(jié)、成品倉儲整個環(huán)節(jié),上述環(huán)節(jié)均使用仙工智能自有的解決方案。
晶圓搬運(yùn)
動態(tài)標(biāo)定技術(shù)+多任務(wù)拼合單+機(jī)器人緩存位
在晶圓制造的拉晶、切割、研磨、拋光等環(huán)節(jié)中,仙工智能針對客戶的現(xiàn)場設(shè)備推出了標(biāo)準(zhǔn)化解決方案,類似目前的 6 寸晶圓搬運(yùn)機(jī)器人和 8 寸晶圓搬運(yùn)機(jī)器人。
在晶圓搬運(yùn)環(huán)節(jié)中存在兩大痛點(diǎn)。第一、多車不一致,精度差,仙工智能目前所服務(wù)客戶表示,此前使用過類似產(chǎn)品,但精度一直無法達(dá)到理想預(yù)期。
動態(tài)標(biāo)定技術(shù)
仙工智能推出了晶圓搬運(yùn)多車一致性解決方案,自主研發(fā)了動態(tài)標(biāo)定技術(shù),多車可以共享地圖及標(biāo)定的參數(shù)文件,實(shí)現(xiàn)多車一致性,保證精度,推動快速部署。共分四步:
動態(tài)標(biāo)定技術(shù)
實(shí)現(xiàn)晶圓搬運(yùn)多車一致性
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● Step 1:每類設(shè)備中任選一臺做好標(biāo)記點(diǎn);
● Step 2:選擇一臺 AMR 機(jī)器人與標(biāo)記點(diǎn)設(shè)備對接,確保精度符合對接需求;
● Step 3:將標(biāo)定好的參數(shù)和地圖文件拷貝至其余 AMR;
● Step 4:所有 AMR 自動與現(xiàn)場所有自動化設(shè)備對接,完成整體驗(yàn)證。
晶圓搬運(yùn)環(huán)節(jié)中第二個痛點(diǎn)是工序間節(jié)拍不匹配、效率低,半導(dǎo)體工藝制程周期較長,每個工序的節(jié)拍互相不匹配,造成存儲和管理難度大,且存在物料出錯的風(fēng)險(xiǎn)。
拼合單+緩存位
仙工智能通過運(yùn)用多種方案結(jié)合的模式以解決上述問題。利用仙工智能 拼合單的軟件算法,并且 在整個機(jī)器人設(shè)計(jì)中加入了緩存位,如此晶圓搬運(yùn)車體上可有兩個緩存位,結(jié)合『倉庫-產(chǎn)線』往返運(yùn)輸環(huán)節(jié),通過預(yù)接單模式,實(shí)現(xiàn)順風(fēng)拼合單功能。此外,仙工智能也會根據(jù)客戶現(xiàn)場情況布局做定制的緩存柜,增加緩存數(shù)量,減少貨物等待時(shí)間。
目前,仙工智能為一家國際知名半導(dǎo)體企業(yè)進(jìn)行了智能化升級,40 多臺車體在客戶現(xiàn)場進(jìn)行晶圓搬運(yùn)工作,仙工智能還配套提供了統(tǒng)一資源調(diào)度系統(tǒng) RDS 以及倉儲物流管理系統(tǒng) MWMS。現(xiàn)階段整個項(xiàng)目現(xiàn)場正穩(wěn)定運(yùn)行,后期也會有更多類似項(xiàng)目。
除去晶圓搬運(yùn),仙工智能在半導(dǎo)體封測、成品倉儲環(huán)節(jié)也設(shè)置了完善的解決方案,旨在通過強(qiáng)大的軟硬件產(chǎn)品全方位為半導(dǎo)體行業(yè)客戶制定智能物流解決方案。
仙工智能將出展 2022 ITES 深圳工業(yè)展會,邀請您蒞臨 2-C36 展位,共同探討半導(dǎo)體行業(yè)物流環(huán)節(jié)智能化升級的相關(guān)話題,以及為您解讀仙工智能打造的半導(dǎo)體行業(yè)一站式智能物流解決方案。