半導(dǎo)體晶圓制造廠內(nèi)AMHS( 自動物料搬送系統(tǒng) - AMHS Automatic Material Handling System)的搬送一般分為Interbay和Intrabay。
捷螺系統(tǒng)針對AMHS通過AMR機(jī)器人來解決整廠的物料傳輸,即晶圓純運(yùn)輸機(jī)器人負(fù)責(zé)Interbay,作為工序區(qū)間搬送系統(tǒng);復(fù)合型手臂機(jī)器人負(fù)責(zé)Intrabay傳輸及對接機(jī)臺作業(yè)。兩者可相互對接協(xié)作,應(yīng)用于工序區(qū)間或工廠間運(yùn)輸。更加全面實(shí)現(xiàn)全廠物料自動搬運(yùn)。